Parylene 沉积特点


 
高分子膜的聚合生长 --单分子的生长模式

无固化应力 --无膨胀/收缩及变形

非液相过程 --无流挂及边角效应

 
高度同形性 --底面、内表面、边缘及侧面均匀涂层
 
无催化剂 --高纯度、无溶剂助剂无放气现象
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