Parylene涂层设备

 


                                             
PAL-5S气相沉积系统

•全自动一键式操控系统    •可实现20项工艺储备设智         •模块化结构设计                 •可定制腔体模块                            •闭合回路单元气压控制
•持续工艺监控                  •低噪音直流驱动真空泵             •全面信息显示及涂覆数据记录                    •方便的折叠设备面板           •维保便捷高效   
•涂层厚度从0.1微米到100微米是可以实现一次性成膜   •应用于单个操作,速率沉积5微米/小时     •没有催化剂或溶剂     •机械冷阱维系沉积室温

智能操作系统

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PAL 5S真空沉积系统整个Coating过程自动控制。 通过编程逻辑逬行控制。涂层系统操作员负责装炉,放入原料,关闭炉盖,过程开始按钮.当流程完成时 系统通知操作人员#控制界面显示关键数据,工艺参数实时数据,逬程设罝可访问等,此特征确保膜的精确率.

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简洁的操作界面、直观实时数据监控在监控中出现的任何偏差都可以通过声音和视觉报警,整个系统运转过程中出现的异常有足够时间来逬行处理,

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参数包括作为一个Standard特性在PAL-5S型 上.一个通信端口也是Provided上传过程数据这些数据可以用于统计过程控制信息.

-100℃超低温冷阱

型号 PAL-SL100
冷冻头温度 -100
环境温度 5-30
噪音 52dB
电压 220V SOHz
功率 800W
电流 6A
外形尺寸(毫米) 660*460*500
外壳材料 冷轧板喷塑
冷冻头材料 不锈钢
冷冻头大小 直径60*380
连接管路 不锈钢波纹软管
压缩机 DANFOSS
风机 EBM29/5W*2 台
第一级制冷剂 R134A.R404A,
第二级制冷剂 TH100
压力继电器 DANFOSS KP5
温控器 日本导通
温度传感器 T型热电偶
时间继电器 FUSI
重量 70kg

•降温迅速,5~10分钟内制冷到-90°C〜-110X

•快速吸附水蒸气、油蒸汽、缩短抽真空时间60%~95%

• 3~5分钟热气除霜,回温迅速

•备有本地控制键盘,远程控制接口,与任何真空系统兼容,可接入客户镀膜机自动控制系统

•待机温度指示

•保持长期连续工作

•一台设备可设计双路负载输出

•可显示双路负载出口和回口温度、本机温度

•进口品牌低温专用压缩机,各种控制阀采用进口部件,运行平稳可靠  压缩机压力过高保护,排气温度过高保护

•安装方便,系统改造简便

•断电保护

•结构紧凑、体积小、重量轻


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