微电子、半导体

Parylene适用于微电子(MEMS)、半导体
  
  在微电子领域,近些年Parylene应用发展较快,真空气相沉积制备的Parylene不仅可制精细尺寸的涂层,而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外,在微米以下超大规模集成电路制作中,还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料,特别是氟代Parylene,更被国外集成电路研究者所青睐,用作多层集成超大规模集成电路的层间绝缘介质。
  Parylene是一种具有优异性能的敷形涂层材料,问世后首先在电子领域得到了应用。1972年列入美军标46058C允许作为军用印刷电路板的敷形涂层材料,涂层厚度为0.0005-0.002英寸。
  Parylene气相沉积涂敷工艺涂敷时,在工作上有很强的渗透性,能渗透到SMT贴片工件的底部和工作表面疏松的毛细孔中,真正形成完全敷形,均匀一致的防护涂层。Parylene气相沉积涂敷工艺没有溶剂、助剂,即使在0.1微米厚也没有针孔,气态小分子在工作表面直接聚合成固态的涂层薄膜,没有通常涂层的固化过程和固化引起的收缩应力,对工件能进行表面加固,但不会引起伤害,也没有因表面张力而引起的涂层弯月面状不均匀。
  Parylene材料本身有很优异的物理机械性能和电性能,不仅机械强度好,摩擦系数低,水汽透过率低,而且介电强度高,绝缘电阻高;介质损耗和介电常数也比较低,作为防护涂层它能覆盖从工频到10GHZ以上频率段电路使用。
  作为电子电路的防护涂层,Parylene不需另加防霉剂,本身防霉能达零级。在盐雾实验中,与其它涂层相比,Parylene防护的电路电阻几乎不下降,其它涂层则都有较大的下降。很薄的Parylene涂层能提供优异的防护性能,还有利于电路板工作热量的消散,因此作为防护涂层  Parylene能使电路具有更高的可靠性,特别是小型高密集度电子电路的防护,Parylene更显示出其独到的优势。
 
Parylene适用于微电子(MEMS)、半导体领域之优点
 
  能进行微米级微细制作和加工;
  与其它微细结构材料有很好的相容性;
  在微细结构中仍具有优良的电性能和物理机械性能;
  对微电子机械系统的使用环境有很好的相容性和防护性。
 
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